Paraiškos būsena:
Baigtas įgyvendinti
Kristalinis erbio oksidas iš retųjų žemės metalų oksidų grupės išsiskiria savo ypatingomis savybėmis, kurias būtų galima panaudoti naujos kartos puslaidininkių technologijoje. Ši medžiaga turi didelę dielektrinę konstantą, platų draustinės juostos tarpą atspari cheminiam ir terminiam poveikiui. Dėl savo stabilumo erbio oksidas gali būti taikomas kaip pasluoksnis III- grupės nitridų, tokių kaip GaN, InGaN, InN auginimui ant silicio. Kadangi erbio oksido lūžio rodiklis (n=1.8) stipriai skiriasi nuo silicio (n=3.5), erbio oksido/silicio daugiasluoksnės struktūros gali būti taikomos kaip Brego veidrodžiai optoelektroniniuose prietaisuose. Šiuolaikinių prietaisų gamyboje vienas iš etapų yra ėsdinimo procesas. Kol kas nėra atlikta išsamių tyrimų erbio oksido cheminio ėsdinimo srityje. Dėl šios priežasties konferencijos pranešime bus aptartas molekulinio pluoštelio epitaksijos būdu užaugintų sluoksnių cheminis ėsdinimas sieros rūgšties tirpale. Po detalios cheminio ėsdinimo kinetikos analizės bus pateikti optimalūs ėsdinimo parametrai, parodytos gautos struktūros po fotolitografijos ir cheminio ėsdinimo proceso. Galiausiai susisteminus visus rezultatus bus pristatytas cheminio ėsdinimo mechanizmas, jo kontrolė atominiame lygyje. Suformavus metalo-dielektriko (erbio oksido)-puslaidininkio MDP darinius bus pateiktos jų elektrinės charakteristikos.
Paraiškų informacija
Paraiškos gavimo data:
2018-12-06
| Nr. Vertinimo kriterijus |
Finansavimo statusas |
Vertinimo balas |
|
1. Tinkamumo vertinimas
|
Taip
(2019-04-01)
|
|
|
2. Naudos ir kokybės vertinimas
|
Taip
(2019-04-01)
|
73.50
|
Paraiškoje nurodyta projekto vertė:
3 756,15 Eur
Prašoma finansavimo suma:
3 756,15 Eur
Sutarties informacija
Projekto veiklų įgyvendinimo pradžia:
2019-04-20
Projekto veiklų įgyvendinimo pabaiga:
2019-05-09
Sutarties pasirašymo diena:
2019-05-09
Sutarties galiojimo pabaiga:
2019-11-14
| Projekto išlaidų suma, Eur |
Finansavimas, Eur |
Apmokėta išlaidų suma, Eur
|
Išmokėtas finansavimas, Eur
|
|
3 756,15
|
3 756,15
|
3 756,15
|
3 756,15
|
Stebėsenos rodiklių pasiekimai
| Eilės numeris |
Stebėsenos rodiklio pavadinimas |
Matavimo vienetas |
Siektina reikšmė pasirašytose projektų sutartyse |
Pasiekta reikšmė |
|
1
|
Į užsienį panaudojant ESF investicijas tobulinti profesinių žinių išvykę tyrėjai
|
Skaičius
|
1.00
|
1.00
|
Statistika
|
Paskutinė atnaujinimo data: 2026-02-28 07:52
