Paraiškos būsena:
Baigtas įgyvendinti
Epitaksiškai auginant GaN ant Si kaip pasluoksnis gali būti naudojamas Er2O3, kuris leidžia sumažinti įtempius dangoje atsirandančius dėl kristalinės gardelės bei terminių plėtimosi koeficientų nesutapimo su pagrindu. Kadangi Si ir Er2O3 lūžio rodikliai stipriai skiriasi, galima nesunkiai suformuoti optinius elementus tokius kaip Brego veidrodis. Be to, Er2O3 dielektrinė skvarba siekia net 14, kas ypatingai svarbu elektronikos taikyme, norint sumažinti srovės nuotėkius. Nors Er2O3 pasluoksniai ant Si įtempius sumažina, tačiau formuojant storesnius GaN sluoksnius įtrūkimų išvengti nepavyksta. Įtempiams lokalizuoti, pagrindo paviršiuje gali būti formuojami įvairūs dariniai, kurie leidžia vykdyti selektyvią epitaksiją. Tokiu būdu didžioji dalis įtempių relaksuoja tarpuose tarp darinių, o ne epitaksiškai užaugintoje GaN dangoje sukeldami įtrūkimus. Darbe Er2O3 struktūros bus formuojamos, taikant cheminį ėsdinimą tirpale, kurių pagrindą sudarys druskos ar sieros rūgštys. Pirmiausiai planuojama ištirti Er2O3 ėsdinimo kinetiką. Selektyvus plotas kristalinėje Er2O3 dangoje bus atidengiamas fotolitografijos metodu, kaip kaukę naudojant pramoninius rezistus. Suformuotų darinių kokybės kontrolė bus vykdoma optiniu bei skenuojančiu elektroniniu mikroskopu. Profilis matuojamas mechaniniu profilometru.
Paraiškų informacija
Paraiškos gavimo data:
2017-07-31
| Nr. Vertinimo kriterijus |
Finansavimo statusas |
Vertinimo balas |
|
1. Tinkamumo vertinimas
|
Taip
(2017-09-25)
|
|
|
2. Naudos ir kokybės vertinimas
|
Taip
(2017-09-25)
|
57.00
|
Paraiškoje nurodyta projekto vertė:
2 839,05 Eur
Prašoma finansavimo suma:
2 839,05 Eur
Sutarties informacija
Projekto veiklų įgyvendinimo pabaiga:
2018-04-30
Sutarties pasirašymo diena:
2017-09-29
Sutarties galiojimo pabaiga:
2018-10-09
| Projekto išlaidų suma, Eur |
Finansavimas, Eur |
Apmokėta išlaidų suma, Eur
|
Išmokėtas finansavimas, Eur
|
|
2 839,05
|
2 839,05
|
2 839,05
|
2 839,05
|
Stebėsenos rodiklių pasiekimai
| Eilės numeris |
Stebėsenos rodiklio pavadinimas |
Matavimo vienetas |
Siektina reikšmė pasirašytose projektų sutartyse |
Pasiekta reikšmė |
|
1
|
Tyrėjai, kurie dalyvavo ESF veiklose, skirtose mokytis pagal neformaliojo švietimo programas
|
Skaičius
|
1.00
|
1.00
|
Statistika
|
Paskutinė atnaujinimo data: 2026-02-28 07:52
