Finansavimas

Mokslinio tyrimo tema: Mikroelektromechaninės sistemos dinaminių savybių tyrimai. Šio projekto tikslas – ištirti mikroelektromechaninės sistemos dinamines savybes. Mikroelektromechaninės sistemos, tokios kaip trijų ašių pozicionieriai, skirti skenuojančiojo zondo mikroskopams, pasižymi aukštu (mikrometrų eilės) pozicionavimo tikslumu. Tokios sistemos dinaminės savybės priklauso nuo keleto veiksnių: pozicionieriaus konstrukcinių ypatybių, valdymo sistemos bei zondo tipo ir jo savybių. Pozicionavimo tikslumas priklauso nuo daugelio veiksnių: pozicionieriui judesius suteikiančių pavarų parametrų, mechanizmų detalių gamybos paklaidų, paklaidų, atsirandančių dėl grandžių paslankumo. Todėl papildomas tyrimas yra reikalingas tam, kad būtų nustatyta darbo greičių zona, kurioje tikslumas yra pakankamas tam tikriems tyrimams atlikti, pavyzdžiui, gyvų ląstelių tyrimuose, kur signalas greitai keičiasi ir turi būti užfiksuotas per keletą milisekundžių. Taip pat, svarbu paminėti, kad tikslumas yra ypač svarbus zondui artėjant prie matuojamojo objekto, tai yra vertikalioje ašyje. Esant netinkamam atstumo parinkimui, galimas mėginio pažeidimas arba sugadinimas. Tiriant sistemos dinamines savybes, reikia matuoti ne tik pozicionieriaus tikslumą, bet ir signalą, matuojamą zondu. Nepaisant to, kad tinkamai suderinta ir valdoma sistema pasieks tinkamą tikslumą esant tam tikram greičiui, signalas, matuojamas zondu, gali būti iškraipomas dėl kitų priežasčių, tokių kaip konvekcija tirpale, zondui judant per greitai mėginio atžvilgiu.