Paraiškos būsena:
Baigtas įgyvendinti
Formuojant mikrostruktūras, kurių realizavimas yra suderinamas su planarinėmis litografijos technologijomis, daugeliu atvejų pakanka ultravioletinės srities kontaktinės litografijos raiškos. Ši lygiagretaus eksponavimo technologija pasižymi dideliu našumu, tačiau ja formuojamas raštas yra visiškai priklausomas nuo naudojamos eksponavimo kaukės. Kokybiška UV litografijos kaukė yra praktiškai didžiausias apribojimas pastarajai technologijai. Kaukės yra formuojamos naudojant specializuotas litografijos technologijas ir kiekvieną kartą norint pagaminti naują struktūrą reikalinga nauja kaukė. Lazerinės tiesioginio eksponavimo sistemos yra viena iš alternatyvų, nes jos leidžia formuoti laisvai pasirinktą vaizdą ir nereikalauja kaukių, tačiau tuo pačiu turi ir akivaizdų trūkumą: tai yra nuoseklaus eksponavimo technologija.Šios praktikos TIKSLAS - pasiūlyti konkurencingą UV litografijoje naudojamų kaukių formavimo technologiją pritaikant eksponavimą fokusuotu lazerio pluoštu bei abliaciją femtosekundiniu lazeriu. Praktikos metu studentas susipažins su pažangiausia analitine bei technologine įranga: švariojo kambario mikro-/nanolitografijos technologijomis, originaliu lazerinio eksponavimo fokusuotu pluoštu stendu, lazerine mikro/nano apdirbimo femtosekundiniu lazeriu sistema; parinks lazerinio poveikio sąlygas užtikrinančias geriausią formuojamų kaukių kokybę; suprojektuos ir realizuos piešinį (kaukę UV litografijai) su mikrometrinių matmenų struktūromis skirtomis dujų jutikliams ir optinėms apsaugos nuo padirbinėjimo priemonėms. Studentas dalyvaus UV litografijos eksponavimo eksperimentuose ir naudojant raiškias mikroskopijos priemones apibūdins kaukės ir ja eksponuotų struktūrų kokybę. Praktika užtikrins kokybiškesnes bakalauro studijas ir tuo pačiu paskatins studentą tęsti mokslus II-oje studijų pakopoje, bei įsilieti į aktualius mokslinius tyrimus vykdomus KTU. Praktikos metu gautus rezultatus studentas pristatys mokslinėje konferencijoje.
Paraiškų informacija
Paraiškos gavimo data:
2018-08-13
| Nr. Vertinimo kriterijus |
Finansavimo statusas |
Vertinimo balas |
|
1. Tinkamumo vertinimas
|
Taip
(2018-09-17)
|
|
|
2. Naudos ir kokybės vertinimas
|
Taip
(2018-09-17)
|
81.00
|
Paraiškoje nurodyta projekto vertė:
2 839,05 Eur
Prašoma finansavimo suma:
2 839,05 Eur
Sutarties informacija
Projekto veiklų įgyvendinimo pabaiga:
2019-04-30
Sutarties pasirašymo diena:
2018-10-01
Sutarties galiojimo pabaiga:
2019-09-12
| Projekto išlaidų suma, Eur |
Finansavimas, Eur |
Apmokėta išlaidų suma, Eur
|
Išmokėtas finansavimas, Eur
|
|
2 816,33
|
2 816,33
|
2 816,33
|
2 816,33
|
Stebėsenos rodiklių pasiekimai
| Eilės numeris |
Stebėsenos rodiklio pavadinimas |
Matavimo vienetas |
Siektina reikšmė pasirašytose projektų sutartyse |
Pasiekta reikšmė |
|
1
|
Tyrėjai, kurie dalyvavo ESF veiklose, skirtose mokytis pagal neformaliojo švietimo programas
|
Skaičius
|
1.00
|
1.00
|
Statistika
|
Paskutinė atnaujinimo data: 2026-02-28 07:52
